Hệ thống cơ điện tử và công nghệ vi: Phần 1

Cuốn sách "Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử" Phần 1 cung cấp cho người học những kiến thức như vấn đề tỷ lệ kích thước; phương pháp khắc bức xạ; kỹ thuật khắc khô; kỹ thuật chế tạo màng mỏng. Mời các bạn cùng tham khảo!