intTypePromotion=1
zunia.vn Tuyển sinh 2024 dành cho Gen-Z zunia.vn zunia.vn
ADSENSE

Simulation of cutting locus and overlap cutting by diamond dressing in cmp process

Chia sẻ: Nguyễn Thảo | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:8

11
lượt xem
2
download
 
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

This paper aims to apply a kinematic model and then propose a method for setting speeds for diamond dressing process on the current configuration of CMP tool.

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Simulation of cutting locus and overlap cutting by diamond dressing in cmp process

ADSENSE

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD

 

Đồng bộ tài khoản
32=>2