Simulation of cutting locus and overlap cutting by diamond dressing in cmp process
11
lượt xem 2
download
lượt xem 2
download
Download
Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ
This paper aims to apply a kinematic model and then propose a method for setting speeds for diamond dressing process on the current configuration of CMP tool.
Chủ đề:
Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!
CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD