Epitaxy chùm phân tử

Trong nghiên cứu này, tính chất điện của màng Ge được pha tạp điện tử sử dụng đồng thời từ hai nguồn rắn GaP và Sb được tập trung khảo sát. Màng Ge được lắng đọng trực tiếp trên đế Si bằng phương pháp nuôi cấy chùm phân tử.

6p viconandoyle2711 29-08-2019 33 1   Download

Bài viết xác định được sự hình thành ba pha trong quá trình phát triển của các màng: Pha GeMn DMS, pha các cột nano GeMn và pha gồm các đám Mn5Ge3. Trên cơ sở đó, điều kiện chế tạo ra các màng GeMn có cấu trúc chỉ bao gồm các cột nano và có nhiệt độ Curie cao trên 400K cũng đã được thiết lập.

7p vinobita2711 28-05-2019 53 1   Download

Bài viết tập trung nghiên cứu, chế tạo màng Ge chất lượng cao trên đế Si (100) với mật độ sai hỏng dạng dây thấp, đạt được nhờ quá trình tăng trưởng hai bước và xử lý nhiệt nhanh ở 900oC trong thời gian 3 phút. Phương pháp chế tạo mẫu là phương pháp epitaxy chùm phân tử. Mật độ khuyết tật đạt được chỉ dưới 104 cm-2 , kết quả này góp phần hiện thực hoá việc chế tạo các thiết bị Ge trên nền Si ứng dụng trong công nghệ CMOS.

6p vixyliton2711 12-04-2019 49 1   Download

Quy trình làm sạch bề mặt đế Silic (Si) theo hai giai đoạn đã được khảo sát để ứng dụng cho kỹ thuật tăng trưởng epitaxy chùm phân tử (MBE- Molecular Beam Epitaxy). Giai đoạn thứ nhất, mẫu được làm sạch theo phương pháp hóa học để loại bỏ sự nhiễm bẩn của các hợp chất hữu cơ đồng thời tẩy sạch lớp oxit SiO2 tự nhiên với chất lượng bề mặt thấp và sau đó tạo mới một lớp mỏng SiO2 để bảo vệ bề mặt trước khi đưa vào buồng tăng trưởng MBE.

6p vinaruto2711 06-04-2019 56 2   Download

Bài giảng Công nghệ chế tạo các vật liệu từ cấu trúc Nano giới thiệu tới các bạn những nội dung về kỹ thuật mạ điện, phương pháp bay bốc nhiệt, Epitaxy chùm phân tử, ứng dụng, phún xạ catốt (sputtering), bản chất quá trình phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

68p maiyeumaiyeu10 17-09-2016 138 16   Download

Bài giảng Các phương pháp chế tạo màng từ nêu lên cấu tạo màng từ, các phương pháp chế tạo màng từ bao gồm sputtering, phương pháp xung laser, phương pháp epitaxy chùm phân tử. Đặc biệt, trong mỗi phương pháp đều chỉ ra ưu điểm và nhược điểm của nó.

22p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 131 7   Download

Thông thường, các màng mỏng để có thể sử dụng đều được chế tạo trên các lớp đế, là các khối vật liệu đơn tinh thể (VD: Si, MgO, Ge, GaAs, thạch anh...). Các kỹ thuật chế tạo màng mỏng bắt đầu được phát triển từ cuối thế kỷ 19, cho đến thời điểm hiện tại, có rất nhiều phương pháp được dùng tùy theo mục đích và điều kiện kinh tế, kỹ thuật: Kỹ thuật mạ điện Kỹ thuật phun tĩnh điện Bốc bay nhiệt trong chân không Phún xạ catốt Epitaxy chùm phân tử (MBE) Lắng đọng hơi...

22p tieulaubau 21-06-2011 805 123   Download