Mạch tích hợp quang tử silicon

Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật "Xử lý tín hiệu ghép kênh phân chia theo mode dựa trên các mạch tích hợp quang tử" trình bày tổng quan ghép kênh phân chia theo mode dựa trên mạch tích hợp quang tử silicon; Bộ chuyển đổi bốn mode bất kì TE0/TE1/TE2/TE3; Bộ chuyển mạch mode không tắc nghẽn; Bộ ghép kênh phân kênh kết hợp MDM và WDM.

157p vineville 03-02-2023 12 5   Download

Quang khắc (photolithography) - là tập hợp các quá trình quang hoá nhằm tạo ra các chi tiết trên bề mặt phiến silicon có kích thước và hình dạng giống như thiết kế. Để làm được điều này cần phải có những bộ mặt nạ (mask), chất cảm quang (photoresist) nguồn sáng UV và dung dịch hiện hình (developer). Mặt nạ thường là một tấm thuỷ tinh hữu cơ được phủ một màng crôm trên đó khắc hoạ những chi tiết phù hợp với thiết kế của cảm biến hoặc mạch tích hợp (IC). ...

7p cinny05 28-01-2011 138 19   Download