Màng mỏng áp điện PZT
-
Bài viết nghiên cứu màng mỏng dị lớp PZT có chất lượng cao, cải thiện tính chất sắt điện và áp điện trong màng mỏng dị lớp PZT định hướng trong các ứng dụng của nhóm vi hệ thống cơ điện tử.
0p thayboitinhyeu 05-03-2020 50 2 Download
-
Luận án nghiên cứu chế tạo màng mỏng áp điện PZT bằng phương pháp quay phủ sol-gel đã thu được các màng mỏng PZT với độ ổn định và với chất lượng cao; đóng góp những hiểu biết mới về việc tối ưu hóa quy trình công nghệ chế tạo màng mỏng áp điện bằng phương pháp quay phủ sol-gel.
24p change04 08-06-2016 91 15 Download