Kính hiển vi<br />
Không gian<br />
làm việc<br />
<br />
Camera<br />
<br />
USB<br />
<br />
PC<br />
Vi chấp<br />
hành<br />
<br />
Khuếch đại 1<br />
Khuếch đại 2<br />
<br />
D/A<br />
<br />
Vật<br />
<br />
Mµn h×nh<br />
UART<br />
<br />
Cảm biến<br />
<br />
COM 1<br />
<br />
A/D<br />
COM 2<br />
<br />
Haptic<br />
<br />
Vi kẹp<br />
Vi điều khiển<br />
<br />
CPU<br />
<br />
UART<br />
<br />
Cổng<br />
ra<br />
<br />
4x<br />
LM324<br />
<br />
DAC<br />
<br />
Đi tới<br />
điều khiển<br />
chuyển động<br />
thân vi kẹp<br />
<br />
Cổng<br />
vào<br />
<br />
Chấp hành<br />
nhiệt điện<br />
<br />
ADC<br />
<br />
Vi điều khiển MSP430F167<br />
<br />
AD620<br />
<br />
Cảm biến<br />
<br />
COM1<br />
Camera<br />
<br />
Card bắt hình<br />
USB<br />
<br />
Vi kẹp<br />
COM2<br />
<br />
PC<br />
<br />
Haptic<br />
<br />
-----<br />
<br />
Không có vật<br />
<br />
Thế ra cảm biến (mV)<br />
<br />
Độ dịch chuyển (m)<br />
<br />
Thế ra cảm biến (mV)<br />
<br />
Có vật bị kẹp<br />
<br />
Điện áp đặt lên vi chấp hành (V)<br />
<br />
Độ dịch chuyển (m)<br />
<br />
Hình 7. Sự phụ thuộc trực tiếp của thế<br />
lối ra cảm biến lực tiếp xúc vào độ dịch<br />
chuyển của đầu vi kẹp<br />
<br />
Độ dịch chuyển (m)<br />
<br />
Lục tiếp xúc (mN)<br />
<br />
Hình 6. Sự phụ thuộc của thế lối ra cảm<br />
biến lực tiếp xúc vào điện áp đặt trên vi<br />
chấp hành nhiệt điện<br />
<br />
Thời gian (ms)<br />
<br />
Hình 8. Đáp ứng thời gian của vi kẹp<br />
<br />
Điện áp đặt lên vi chấp hành (mV)<br />
<br />
Hình 9. Lực tiếp xúc giữa các đầu vi kẹp và<br />
vật phụ thuộc vào điện áp đặt<br />
trên vi chấp hành nhiệt điện<br />
<br />